细说高精密与超精密机床的差别

在导轨和轴承方面，由于高精度加工需要实现高精度和平稳的定位运动、轨迹运动和微小距离运动，因此高精度加工机床采用静压丝杠和静压导轨较为常见。此外，高精密加工机床的电主轴也可采取动压或静承的方案，以同时实现支承和冷却功能，并提高主轴的刚度和阻尼性能。  

在位置控制方面，由于精密测量是控制高精度加工的前提，要保证机床的运动达到需要的精度级别，其电子尺的测量精度须要高1~2个数量级。

目前高精度加工机床一般采用分辨率达0.05~0.1μm的玻璃光栅。  

机床的加工精度、光洁度和刀具寿命与机床的刚性成正比，因此高精度加工机床尤其重视床身的设计和材料选择。

 

超精密机床  

 

超精密机床加工是指尺寸精度在100nm以内的加工技术。随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展，以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切，超精密加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面，借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统，并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。  

近年来，超精密加工开始从高技术装备制造领域走向消费品生产领域。应用的是各种电子产品中的塑料成像镜头，如手机和数码相机镜头、光盘读取镜头、人工晶体等。同时，也开始用于各种自由曲面光学零件、微透镜阵列、渐进式镜片、菲涅尔透镜、微沟槽阵列等各种光束处理镜片的加工。与成像镜头相比，光束处理器件具有更为复杂的形面。